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印联传媒资讯】中国苏州知名企业近期完成了商业化热气泡式喷墨打印头产品的开发，即将率先投入市场。据了解，该产品打印分辨率高达1200dpi，热气泡式喷墨打印头产品的芯片由苏州微纳制造中试线加工。
热气泡喷墨打印基本原理
热气泡式喷墨的过程如下：
在正常情况下喷墨头内部的墨水在表面张力的作用下与外界大气压达成相对的平衡，处于稳定状态。
当喷墨头接收到打印信号后，喷墨头内部的加热元件迅速升温，使其附近的墨水温度急剧上升并汽化，从而形成小气泡。小气泡逐渐变大，形成蒸气膜。
当打印信号消失后，持续的余热使气泡进一步膨胀，内部产生的压力将墨水从喷嘴处挤出，同时加热器件的温度开始下降。
随着加热器件表面温度的降低，气泡和墨水分界处开始冷却，由于墨水前端已从喷嘴处挤出，而后端又由于墨水收缩而使喷头内部压力减小，喷嘴处产生负压，再将墨水吸回到喷头内。
当喷头内气泡消失后，负压力继续作用，墨滴与喷嘴完全分离，剩余墨水被吸回到喷头内，喷头回到初始平衡状态。
热气泡式喷墨技术的优点：喷头生产成本较低。
热气泡式喷墨打印头加工工艺，涉及高性能电阻薄膜制备、异型孔DRIE刻蚀、高精度高均匀性喷射结构制备等关键技术，其中包含微结构加工工艺、释放工艺、牺牲层材料工艺、结构层材料工艺等多种工艺模块。
苏州微纳制造中试线是国内首个全开放、市场化运营的中试平台，在热气泡式喷墨打印头产品加工过程中，凭借独具优势的工艺模块和相关核心技术，成功帮助该客户实现了科研级、工业级热气泡式喷墨打印头的工艺开发，为客户提供了可批量生产的喷墨头产品。
苏州微纳制造中试线完成了高均匀性电阻薄膜沉积、低温低应力PECVD薄膜沉积、牺牲层释放、喷孔结构层制备、有机材料层刻蚀及释放、高深宽比异型孔深硅刻蚀等多种新工艺和特殊工艺的开发，以及可用于喷墨头产品的工艺集成技术的开发。
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